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wafer clamp assembly

Ensamblaje de abrazadera de oblea

Nombre del producto:Ensamblaje de abrazadera de oblea

Material:Acero inoxidable 316L

Dimensiones:360*400*200mm

Método de procesamiento:Mecanizado CNC de 5 ejes

Características del producto:

Este conjunto de abrazadera de oblea se fabrica a través del mecanizado integrado CNC avanzado de 5 ejes, superando las limitaciones de procesamiento tradicionales para cumplir perfectamente con los requisitos de precisión de nivel nanométrico del manejo de obleas.

Para lograr tolerancias geométricas a nivel de micras, la tecnología de sincronización de múltiples ejes permite el corte de precisión omnidireccional, completando el mecanizado de alto brillo de múltiples superficies en una sola configuración, eliminando los errores de reposicionamiento. La simulación de estrés material optimiza los parámetros de corte, asegurando la estabilidad estructural y la resistencia a la deformación al tiempo que cumple con los Estándares Libres de polvo y de contaminación de la sala limpia.

La inspección en el proceso en tiempo real y un sistema de compensación inteligente garantizan una precisión dimensional crítica dentro de ± 0.002mm y una rugosidad superficial de Ra ≤ 0,1 μm. El conjunto ofrece confiabilidad de cero defectos para la transferencia y posicionamiento de obleas, mostrando la experiencia incomparable de nuestra empresa en la fabricación de equipos de semiconductores de alta precisión.


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